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商品訊息描述: 周年慶日本生產工程權威獎項得主力作,圖解與表格詳實,帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌,提升現場即戰力。

搶購◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
活動商品◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務,讓你一讀即懂。
選購指南2019熱門產品>上班族省錢大作戰◎由製程直到設備、新技術,更進一步設置有關電漿損傷的章節,以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。


針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象,循序解析,詳解各環節的連帶影響,提升現場即時應變的作戰能力,為優秀工程師養成必備的工具書!

非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電漿,而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機?

本書告訴你這些連現場資深乾蝕刻工程師都不見得充分理解的知識。
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商品訊息簡述:

  • 譯者: 倪志榮
  • 出版社:白象文化   
    新功能介紹
  • 出版日期:2015/03/01
  • 語言:繁體中文


 


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下面附上一則新聞讓大家了解時事



傳華為限制內部與美交往 遣送美國員工 | 各大廠封殺華為 | 數位 | 聯合新聞網
華為已下令員工取消與美國聯絡人的技術會議、限制員工與美國人工作來往,並將其在深圳總部工作的美國員工送回美國。 聯合報系記者王騰毅/攝影 分享 facebook 英國金融時熱銷報報導,中國電訊設備商華為已經下令員工取消與美國聯絡人的技術會議、限制員工與美國人工作來往,並將人氣商品網友一致推薦其在深圳總部工作的美國員工送回美國。報導引述華為首席戰略架構師黨文栓表示,在川普政府將華為及其68家關聯企業列入黑名單後,在華為總部從事研發工作的美國公民已經於兩週前被送回了美國。. } }); } 華為這項決定公布相當突然,報導說,這使一個正在進行的研討會被倉促解散,美國代表被要求交出筆記型電腦、關閉網路並離開華為辦公區。由於美國要求供應商必須獲得政府許可證,才能向華為出售零組件。華為還花了數天時間對其在中國和美國的辦事處彼此溝通的方式進行重大調整,以確保所有的互動都符合出口管制實體清單(Entity List)。黨文栓說,華為還在更廣泛地限制員工與任何美國公民之間的交往。報導說,華為一直在檢查來其園區參觀的外國遊客是否持有美國護照,並警告那些持有美國護照的人,他們的私人談話不得涉及任何與技術相關的話題。一名美國公民收到了華為一名長期業務聯絡人發來的訊息,稱將推遲所有聯絡,直到另行通知。訊息中寫道:「由於我方規定,我們不允許與美國公民會面討論與技術相關的事務。」Holland & Knight律師事務所合夥人庫魯休斯(Eric Crusius)認為,將美國和中國業務分離可能可以孤立優惠專區流行美國業務,但從另一個角度看,「華為似乎正在把自己與世百貨優惠快速到貨網拍界其他地區隔絕開來。」


 網球》復仇勝17歲黑馬小將 謝淑薇奪暌違6年第3冠


【楊勝凱/綜合報導】台灣網球一姊謝淑薇,今在總獎金25萬美元廣島女網賽單打決賽中以直落二砲轟從會外晉級的世界第134、美國17歲小將阿尼西莫娃(A.Anisimova)後,繼2012年之後奪下職業生涯第3座WTA單打冠軍。

 

世界第40台灣一姊謝淑薇,今在廣島女網賽單打決賽對上大黑馬阿尼西莫娃,後者雖然世界排名僅第134,這次從會外直接一路連續爆冷打到單打決賽,而且去年夏威夷網賽淑薇還曾以比0比6、1比6慘敗給阿尼西莫娃。

 

今兩人職業生涯第二度對決,謝淑薇表現神勇,首盤在0比1後,連續在第3、5局二度破發連下5局,只花30分鐘就以6比2拿下首盤。

 

第二盤,謝淑薇在0比1後,連續在第3和5局二度破發、連下4局,反倒以4比1取得領先,雖然在第6局被破回1局,但淑薇立刻又在第7局回破,最終謝淑薇保保第8局發球局,成功以6比2拿下勝利演出甜蜜復仇,並且拿下職業生涯的第3座WTA冠軍。

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